極端な負荷の下で重い-デューティオートメーション用に設計同期された6-dofエラー修正高-応力回転操作中。 XYZ -軸線形補償（±15μm範囲）と三軸角補償（±0.03度）を統合すると、このシステムは、送信中にミクロン-レベルの精度を維持します50nmの連続トルク以上- 半導体ウェーハの取り扱い、航空宇宙ベアリングテスト、および油圧回転組合アプリケーションの再定義精度。
優れたトルク伝達機能（50nm以上）を必要とする加圧回転操作用に設計、特許デュアル-パストルクカプラープリロードされたテーパーローラーベアリングと硬化したスプラインインターフェイスを介してバックラッシュを排除します。加圧オイル-バスハウジング（IP69K）は、250バー回転シールに耐えながら、活動的な熱補償が粘度の変化に対抗し、±0.012度の角の安定性を-40度から150度に保証します。これは有効になります30％高速なインデックス対静水回転テーブル。
コアイノベーション
トルク-密なアーキテクチャ
直径180mmパッケージの120nmピークトルク。
ロータリーエンコーダー統合
±20 arc -秒の精度を100 rpmで維持します。
圧力-適応シーリング
10,000 psi動的圧力でのゼロリーク。
ASME B89.3.4 / ISO 230-3認定
1,000万回のローテーションサイクルについて検証されています。
重要なアプリケーションで証明されています
300mmウェーハ転送チャック
5μmTIRを維持しながら85nmで回転します。
航空機のギアボックステストリグ
±0.015度のねじれ補償で110nmの環状トルクを適用します。
海底バルブアクチュエーター
深さ3,000mの圧力で50nm @20rpmを維持します。
タービンブレード研削
75nmの研磨操作中に0.025度の傾きを修正します。
モジュールのPowerLinkインターフェイスが達成されます<100μs synchronization with hydraulic servos. Stellite-coated bearing surfaces resist particulate wear in mining applications, while dual-redundancy strain gauges provide real-time torque telemetry. Calibration traceable to NIST ensures ≤±0.8% torque measurement accuracy.
High -トルク検証書類をダウンロードしますT -シリーズモジュールがベアリングテストスループットを45％増加させ、半導体ウェーハスクラップを32％削減する方法を確認します。
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